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RTO焚烧炉半导体废气处理

作者:小编时间:2022-05-30 11:17:02 次浏览

信息摘要:

1、 半导体废气处理组件半导体工业废气的主要成分是有机废气和酸碱废气。有机成分:非甲烷碳氢化合物、氮氧化物、二氧化硫等;酸碱成分:氨、硫酸雾、氟化物、氯化物、氯等。2、 工业排放标准3、 半导体废气处理方法一般半导体行业废气处理的解决方案如下:(1) 预处理阶段:采用喷淋塔对废水进行预处理,去除粉尘和溶于水的有害气体。(2) 主要处理阶段:这一阶段,较为常用和有效的方法有:紫外线光解、生物过滤分解

1、 半导体废气处理组件
半导体工业废气的主要成分是有机废气和酸碱废气。有机成分:非甲烷碳氢化合物、氮氧化物、二氧化硫等;酸碱成分:氨、硫酸雾、氟化物、氯化物、氯等。
2、 工业排放标准
3、 半导体废气处理方法
一般半导体行业废气处理的解决方案如下:
(1) 预处理阶段:采用喷淋塔对废水进行预处理,去除粉尘和溶于水的有害气体。
(2) 主要处理阶段:这一阶段,较为常用和有效的方法有:紫外线光解、生物过滤分解、焚烧和催化燃烧。
由于各企业产生的废气成分、风量、浓度不同,所采用的半导体废气处理方法也会有所不同或需要多种方法的组合。具体治疗方案请咨询我们。我们将有工程师为您制定一对一的治疗方案。

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