1、 半导体废气处理组件
半导体工业废气的主要成分是有机废气和酸碱废气。有机成分:非甲烷碳氢化合物、氮氧化物、二氧化硫等;酸碱成分:氨、硫酸雾、氟化物、氯化物、氯等。
2、 工业排放标准
3、 半导体废气处理方法
一般半导体行业废气处理的解决方案如下:
(1) 预处理阶段:采用喷淋塔对废水进行预处理,去除粉尘和溶于水的有害气体。
(2) 主要处理阶段:这一阶段,较为常用和有效的方法有:紫外线光解、生物过滤分解、焚烧和催化燃烧。
由于各企业产生的废气成分、风量、浓度不同,所采用的半导体废气处理方法也会有所不同或需要多种方法的组合。具体治疗方案请咨询我们。我们将有工程师为您制定一对一的治疗方案。